钝化论文

半导体器件钝化层Si_3N_4薄膜的制备及性能

一、半导体器件钝化层Si_3N_4薄膜的制备及特性研究（论文文献综述）万露红[1]（2021）在《延伸波长InGaAs探测器钝化机理研究》文中研究指明短波红外波段（1～2.5μ...