一、Sagittal聚焦晶体柔性铰链压弯机构研究（论文文献综述）
杨佼汪,刘旭,曹刚,蔡泉,盛伟繁[1]（2019）在《一种消除弯晶面形扭曲的轴角装置》文中研究指明Laue晶体单色器常用于单色化高能X射线（>50keV）,通过对其晶片压弯可以实现高能光束聚焦。晶片压弯过程中会不可避免地产生扭曲,从而影响单色器的工作效率。利用波动光学仿真的方法,分析弯晶面形扭曲对Laue晶体单色器性能的影响,并提出一种角位移微调轴角装置,用来消除这种扭曲。该装置基于直梁型柔性铰链,利用叠加原理和对称结构。利用有限元方法分析了该装置的力学性能。分析结果表明,轴角装置的转角范围为±2°时,其转动中心最大偏移为20μm,实现了角位移分辨率好于1″,动态范围达到104,达到设计目标。
秦超[2]（2018）在《同步辐射椭圆柱面压弯镜机构的研究》文中进行了进一步梳理上海光源（SSRF）是我国第一台第三代中能同步辐射装置,其主要由光源、光束线和实验站组成。上海光源二期拟建设一条生物防护蛋白质晶体学线站（P2站）,为了有效减小光斑发散度,需要装配一个长度为1m的椭圆柱面聚焦镜,本文主要研究目的是使用一台双拉杆式压弯机构对等截面的平面镜进行压弯,从而得到所需的椭圆柱面镜。具体研究内容如下:（1）基于材料力学梁的弯曲理论分析水平聚焦（不考虑重力）和垂直聚焦（考虑重力）的压弯弯矩和面形误差。水平聚焦:压弯弯矩M1=35.04N·m,M2=40.03N·m时,压弯面形与理论所需椭圆面形相比面形误差为0.02μrad;垂直聚焦:M1=27.91N·m,M2=32.89N·m时,面形误差为0.72μrad。从分析结果可知垂直聚焦时重力的影响较大,故单独分析了重力的影响和补偿的方法。使用三点补偿后,与平面相比可将单独重力引起的误差降到0.07μrad左右。（2）使用ANSYS workbench软件对压弯机构进行有限元分析,通过分析得到使用此压弯机构将平面镜压弯成所需椭圆面形的拉杆位移。水平聚焦:拉杆位移分别为9.2 mm、10.1 mm,可以获得与理论椭圆相比面形误差为0.35μrad的椭圆面形;垂直聚焦:拉杆位移分别为7.4mm、8.4mm,面形误差为0.88μrad,此时误差较大,故又通过有限元分析方法单独分析了重力的影响和重力补偿的方法;最终得出使用三点重力补偿,加载合适的补偿力,拉杆位移分别为9.1mm?10.1mm时,面形误差为0.45μrad,满足设计要求。（3）使用上海光源自主研制的纳弧度长程面形仪（NOM）对双拉杆压弯机构压弯后的面形进行测试,测试时垂直聚焦并且加装重力补偿装置,最终得到一个与理论椭圆相比面形误差为0.48μrad的实际面形,此时拉杆位移分别为9.1mm和10.9mm。此面形可以满足线站的使用要求。然后测试了压弯椭圆柱面时的重复性和稳定性,测量重复性得到物距均方差为0.054m,相距均方差为0.013m;测量稳定性得到物距均方差为0.086m,相距均方差为0.022m,均满足要求。最后测试了压弯圆柱面时的分辨率、稳定性和重复性,测量分辨率时:拉杆初始位移为7mm,位移每变化0.01mm,其半径的灵敏度均值为6.75m;拉杆初始位移为5mm,每变化0.01mm灵敏度均值为13.75m。测量重复性得出半径的均方差为6.24m。稳定性测量得出半径均方差为6.9m;均满足要求。本文重点针对椭圆柱面压弯镜研究。在整个研究过程中,完成了对双拉杆压弯机构压弯模型的材料力学分析、有限元分析和重力补偿分析,并且使用纳弧度长程面形仪对实际压弯过程进行了测试,得到了满足要求的面形结果,为后期光束线的工程设计提供了重要的理论和实验依据。
潘要霖[3]（2017）在《亚微米聚焦高稳定柔性铰链压弯机构的模拟分析》文中研究指明由于同步辐射硬X射线微米、纳米探针具有高能量、高穿透能力、高探测灵敏度、高空间分辨率等特点,因此被广泛应用于众多学科领域的研究探索中。为了追求更好的空间分辨率、更高的通量,科学家们在一个多世纪里发展出了一系列的聚焦方法和技术。在众多聚焦方法和技术中,采用动态压弯的非球面弹性压弯镜系统由于具有反射率高、空间分辨率高、加工难度较低、光学参数可调、消色散等特点而被广泛应用。目前国际上已经发展了一系列弹性压弯的方法和技术,其中欧洲同步辐射光源（ESRF）已经实现了小于50nm的聚焦光斑。国内也进行了弹性压弯机理的研究和相关技术的研制,并取得了一系列的结果。作为国内首条三代光源微纳聚焦线站,上海光源硬X射线微聚焦及应用线站（BL15U1）采用压弯K-B镜实现了<2μm的硬X射线聚焦光斑。在压弯机理方面,我们采用了精确压弯理论。根据实际情况,提出复杂姿态下通过调节宽度的方式补偿重力的方法。在此基础上并针对上海光源硬X射线微聚焦线站的光束线条件,与美国阿贡国家实验室先进光子源中心（APS）合作研制了基于weak-link的柔性铰链压弯机构,期望得到亚微米尺度的聚焦光斑。本文对设计的柔性铰链压弯机构进行了系统的有限元分析工作,分析了压弯机构的应力分布,对压弯镜体宽度进行了优化,并对压弯样机进行了离线和在线测试。优化后压弯系统的有限元分析结果表明:本套压弯机构可在材料的弹性范围内工作,理论上可将X射线聚焦到164nm。通过长程面形仪（LTP）对压弯机构样机的测试,本套压弯机构具有高度的机械稳定性和重复精度。测试样机的压弯非球面镜的斜率误差为430nrad,理论上可实现230nm的硬X射线聚焦光斑。样机的X光在线初步测试结果表明,在当前束线条件下且镜体宽度未进行优化的情况下,本套压弯机构可以实现约350nm的硬X射线聚焦光斑,达到了预期设计目标,对进一步研制更高空间分辨率的纳米聚焦压弯镜具有指导意义。
张海云[4]（2017）在《高能劳厄单色器晶体压弯机构的优化设计》文中指出上海同步辐射光源二期工程将建造一条超硬多功能线站,超硬线采用超导扭摆器作为光源,光源水平发散角非常大,约为6 mrad。为有效利用此光源,超硬线采用一台高能劳厄双晶单色器。高能劳厄双晶单色器的核心部件是弧矢压弯机构,晶体弧矢半径与子午半径的优化会影响单色器的光通量和能量分辨率。因此,本文通过找寻可能对晶体弧矢与子午半径产生影响的因素,为高能劳厄单色器压弯机构的优化设计提供参考。本文介绍了超硬多功能线站的特点、高能劳厄单色器的组成以及高能劳厄单色器的工作原理。对单色器晶体、晶面和压弯半径的选择作了说明。讨论了同步辐射常用压弯方式的特点以及高能劳厄单色器常用机械压弯方式的优缺点。对高能劳厄单色器压弯机构的设计指标,压弯与调节系统作了简介。介绍了有限元方法,用ANSYS Workbench软件建立了有限元分析模型,精确模拟分析了单晶硅的各向异性、单晶硅的长宽比、叶簧片推压角、叶簧片尺寸对晶体压弯半径的影响。研究结果表明,Si（100）晶体最佳切割边界为[011]方向和[0-11]方向;晶体的优化尺寸为90 mm×40 mm×1 mm,其中有效长度、宽度为l×w=70 mm×40 mm;叶簧片推压角在0.015°内,叶簧片有效长度长度、厚度与宽度分别为53±0.25 mm、0.50+0.01 mm与50±0.25 mm时,晶体的弧矢半径与子午半径符合理论设计要求。最后,对压弯机构进行了热分析,比较分层加载与表面加载方式对晶体温度的影响,提出通过更换叶簧片材料可降低晶体温度的建议,优化结果表明可降低晶体温度21.82℃。对更换叶簧片材料后的压弯机构进行了位移载荷与热载荷的综合分析,结果符合要求。本文创新点在于采用各项异性有限元模型优化分析了高能劳厄单色器晶体压弯机构,并且结合工程实际分析了叶簧片尺寸一致性对压弯半径影响,通过优化叶簧片的材料降低了劳厄单色器晶体温度,优化成果已经应用于高能劳厄单色器压弯机构的原型样机中。
周顺,冯勇,阳志强,江波[5]（2016）在《晶体单色器微调结构设计分析》文中指出为了利用同步辐射单色光研究生物细胞、病毒等以促进生物医药学的发展,对输出单色光的晶体单色器的主要结构（微调结构）进行了设计分析.根据实际的应用要求,单色器只输出三个能量点分别为2.1keV、2.3keV和2.5keV的光束线,能量分辨率Δ≤5×10-4,角度重复精度小于3″,微调结构采用三块独立的切槽型晶体,设计了晶体安装座、柔性铰链和推杆等,利用步进电机实现晶体角度的精确微调.步进电机朝一个方向转到预设的光栅尺数值,并与自准直仪的监测数值比较.测试结果表明:角度微调的10次移动过程中,最大偏差2.79″,最小偏差-1.87″,满足重复精度小于3″的设计指标.
高飒飒[6]（2014）在《同步辐射光束线水平偏转压弯机构关键技术研究及性能测试》文中研究说明同步辐射装置是一种大科学装置，能同时容纳数百人进行科学和技术实验。主要由光源、光束线和实验站构成。根据实验站对光束的要求，光束线对同步辐射光源产生的同步辐射光进行偏转、准直、分光和聚焦等处理，并将同步光传输到实验站。第三代同步辐射光源具有很小的电子束发射度，使得光束以很小的掠入射角入射在光学元件上，导致成像镜面在光束传播方向的长度大幅增加，达到甚至超过1米。采用传统的磨制镜直接加工，很难得到高精度的面形。相比之下，压弯镜具有半径可调，表面精度高和易于制造等优点，从而得到广泛的应用。第三代同步辐射光源的主要特点是大量使用插入件，以波荡器为主。同步辐射装置上常规使用的压弯镜多是水平放置、光束垂直偏转，反射面朝上或者朝下。但是对于波荡器光源来说，从保持光源的横向相干性和亮度的角度看，水平偏转压弯镜更具优势，此外水平偏转压弯镜还可以在K-B聚焦镜装置中用作水平方向聚焦镜。第三代同步辐射光源对光束线的压弯准直聚焦镜提出了很高的要求，开展水平偏转压弯机构关键技术研究及性能测试，在提高压弯机构性能的同时，有助于提高光束线的通量和能量分辨率，具有极其重要的现实意义。本论文以上海光源建设中所需的水平偏转压弯镜为目标，重点研究了包括高性能水平偏转压弯机构压弯机理、补偿机制及热缓释技术等在内的关键技术，并对水平偏转压弯机构的性能测试方法进行了研究。具体研究内容如下：1)水平偏转压弯机构的受力情况较为复杂，相对于镜子所要求的极小面形误差和定位误差，镜子的性能对受力的变化是非常敏感的。本论文在研究压弯机构压弯理论的基础上，根据水平偏转压弯机构的设计指标，确定了压弯方式及压力点，使用点槽面支撑系统来实现其空间位置调节，提出了针对压弯镜自重和压弯机构自身重力的平衡补偿装置，并进行了水平偏转压弯机构的设计。2)水平偏转压弯镜压弯过程中，除了受到自身重力、平衡力和压弯力矩之外，还受到压弯机构本身结构、接触部分的摩擦以及局部变形产生的影响。这些因素导致工程分析结果与实际试验结果存在着较大的误差。为了提高分析精度，本文构建了从驱动机构、夹持机构到压弯光学元件的整体有限元分析模型，引入非线性分析的方法，模拟了水平偏转压弯机构的压弯过程，并针对压弯机构的压辊和镜面、驱动杆和动力轴等关键接触部位进行了分析，得到的模拟结果更接近实际情况。3)第三代同步辐射光源的高亮度给光束线设备带来的问题是极高的辐射功率和极高的功率密度，如何保证光学元件不受损伤并且稳定地正常工作，是需要解决的关键技术之一。对水平偏转压弯镜在热负载下的变形进行系统的分析，将热传导、热对流及热辐射三种热传递方式进行综合考虑，最大限度地模拟了该结构在热载下的真实状态。在此基础上确定了冷却方案，不仅削弱了热载效应，水平偏转压弯镜达到热平衡的时间得到大幅缩短，在提高实验效率的同时能够获得稳定有效的实验结果。4)水平偏转压弯机构的检测与安装是整个光束线安装调试的一个重要环节，而水平偏转压弯镜面形精度要求之高以及镜长的增加，都提高了检测的难度。使用上海光源自行研制的LTP-1200对水平偏转压弯镜在压弯状态下的面形进行测试，同时采用激光干涉仪、分光镜和反光镜等，搭建了一套离线检测方案对其运动精度进行精确的测量，运行稳定，各项指标均符合设计要求。本文重点针对提高水平偏转压弯机构性能的关键技术及性能检测方法进行了研究。在整个研究过程中，完成了水平偏转压弯机构的设计，对重力影响、压弯机构本身以及热载影响等做了具体的探讨和研究，并利用有限元软件模拟了系统的压弯过程与热力学过程。本文的研究成果对压弯机构的设计具有很好的参考价值，为后期光束线的工程设计提供了重要的理论依据。
卢启鹏,彭忠琦[7]（2011）在《压弯机构在同步辐射光束线中的应用》文中指出同步辐射光束线中压弯机构的主要的压弯方式有仿型弯曲、压电弯曲和机械弯曲,由于压弯原理不同,各种压弯机构的应用场合也不同。目前,最常用的压弯方式是机械压弯,主要有三点压弯、四点压弯、双臂结构、单臂结构、无臂结构和柔性铰链等。其中四点结构既可用于压弯长镜,又可用于压弯短镜,零部件加工与安装方便,且力矩大小可调,在同步辐射光束线中得到了广泛应用。
邓小国[8]（2008）在《高热负载水冷弧矢聚焦双晶单色器研究》文中研究指明随着上海第三代同步辐射光源（SSRF）光束线工程的建设,作为光束线关键设备之一的高精度晶体单色器需求数量将达到几十台。而涉及诸多关键技术的高精度晶体单色器,目前还主要依赖从国外进口,所以自行研制高精度的晶体单色器势在必行。本论文将在上海光源X射线衍射光束线（BL1481）和小角散射光束线（BL1681）中的水冷弧矢聚焦单色器研制过程中,主要从以下几个方面对高精度晶体单色器的若干关键技术进行了研究。1.探讨了高热负载热缓释技术中不同冷却介质和不同冷却结构,分析了晶体热载变形对单色器的能量分辨影响,归纳总结了各自的优缺点,提出了第一晶体高精度定向切槽、扩散焊接特殊加工技术,降低了晶体热载变形,提高了晶体的衍射面面形精度及衍射性能。2.为提高实验站样品处光斑的通量,深入分析了晶体压弯聚焦机构的特点,提出了柔性铰链传递弯矩进行晶体弯曲聚焦技术,实现了光束的水平聚焦,使单色器能够接收较大发散度的入射光束,提高了样品处的光子通量。3.针对光束线对单色器的高可靠性和高稳定性要求,分析了晶体偏离理想位置给Bragg衍射带来的影响,提出了晶体投角、滚角和摆角精密微调及固定出口技术,以获得高精度的光斑位置。4.在前面几章的理论研究基础之上,将理论成果应用到水冷弧矢聚焦单色器的工程实践中。以线站对单色器性能指标要求为设计目标,采用有限元分析软件对晶体结构参数进行了优化设计,解决了晶体直接水冷却、弧矢压弯聚焦、固定光束出射口和精密微调机构等关键技术问题,研制成功了国内第一台运用于工程中的水冷弧矢聚焦双晶单色器,其主要技术指标达到或超过国际同类设备的水平,已在上海光源调试成功,投入使用。
凤良杰[9]（2008）在《NSRL-XAFS光束线改造中弧矢聚焦双晶单色器相关技术研究》文中研究指明同步辐射光源是继X光源和激光光源后为人类文明带来革命性推动的一种新型光源,它以高亮度、高准直、高强度以及从红外到X射线范围内的宽广连续光谱等优异特性,应用方向的多样性成为多学科交叉研究和相互融合的重要平台。同步辐射光源及应用方法近年来迅猛发展,要求更高的光子通量、时间、空间和能量分辩以及更小的束斑,与其配套的束线工程也日趋复杂,涉及真空、机械、光学、电子控制等多个学科。一条结构合理,稳定的光束线是同步辐射光源成功应用的重要基础。将聚焦系统与晶体单色器结合形成的同步辐射弧矢聚焦双晶单色器不但具有单色化同步辐射光的能力,还能水平聚焦光束,增大单色器的水平接收角,得到高通量、高光子密度和小尺寸的像斑。弧矢聚焦晶体单色器简化了光束线系统,降低了光束线的造价,是同步辐射光束线单色器技术发展的一个重要方向。本文依托于NSRL-XAFS光束线改造工程,对用于动态能量扫描的弧矢聚焦晶体单色器中的关键技术作了系统的研究,建立对关键部件设计、制造和检测的研究经验。重点内容包括以下几个方面:1.晶体弯曲机构研制:鉴于第二晶体压弯机构是弧矢聚焦单色器机械结构中的关键部件,本文调研了国际上应用较为普遍的压弯方式,结合XAFS实验要求能量动态扫描过程中固定光斑位置的特点,研制出定心双摇杆晶体弯曲机构,其原理是施加在晶体两端的力偶转动中心绕两摇杆中心运动,呈行星机构,使得晶体弯曲圆弧始终相切于初始平面的中心线,保持晶体受光的中央区域空间位置不变,并在LTP上进行了晶体弯曲实验,验证了这一机构的可行性。系统分析比较了几种能量扫描机构及其原理,将原先用于双平晶单色器的L型联动机构改造后移植到弧矢聚焦单色器中。2.能量扫描机构的改进:将Bragg转动中心选择在第二块弧矢曲面晶体的表面,加长第一晶体的长度。既避免了扫描时照射光束在动态弯曲的弧面上移动对衍射质量和输出束斑稳定性的影响,又继承了L型联动机构仅一维转动就可实现全谱扫描的优点。3.晶体热缓释技术研究:NSRL-XAFS光束线弧矢聚焦晶体单色器的第一晶体直接面对3×0.1mrad2的白光,表面温度很高,由此引起的热形变影响了单色器的输出通量和能量分辩。延长了双晶达到热平衡的时间,缩短了有效实验机时。为此本文对直接照射到晶面上的印斑进行光学追迹和热源分布计算,并分别建立了有无水冷两种模型,比较温度、温差、变形和热平衡时间,表明采用简单的底面间接水冷措施,就能受到很好的冷却效果,有效地减小了晶体温度和热形变,缩短了热平衡时间。4.鞍型形变抑制技术研究:分析了晶体弯曲产生鞍型形变的原理和国际上通用的抑制鞍型形变的方法,重点对肋条薄晶体和黄金比例晶体两种方法进行建模、有限元分析、设计制造与离线测量,获取了很多有用的数据。为弧矢聚焦晶体单色器的工程设计和工艺实施提供了有力依据。本论文的工作是NSRL-XAFS光束线改造前期可行性方案的研究,通过对上述几个关键技术的探讨,其结论是以弧矢聚焦双晶单色器代替原有的双平晶单色器,增大光学接受窗口、缩小样品上的束斑、提高光子密度、改善光束线的整体性能的方案是可行的。论文还根据二期工程的光源参数,现有的空间条件,经过参数优化,光线追迹计算,给出了较完善的单色器光学机构方案,使改造后照射到样品上的光子密度理论上比改造前上升了一个量级。
赵鋆,李三庆[10]（2007）在《单色器中柔性铰链压弯微调机构的力学分析》文中认为阐述了一种以柔性铰链为核心部件的压弯微调机构,应用理论力学、材料力学等传统力学方法及结合数学知识对这种压弯微调机构进行了详细的力学分析和推导。表明了压弯微调机构所受外加载荷和晶体压弯曲率半径的函数解析式,说明了晶体尺寸和压弯机构参数对晶体压弯精度的影响,且推导出的压弯晶体曲率半径函数式可以为类似的压弯机构设计提供力学基础。
二、Sagittal聚焦晶体柔性铰链压弯机构研究（论文开题报告）
（1）论文研究背景及目的
此处内容要求：
首先简单简介论文所研究问题的基本概念和背景，再而简单明了地指出论文所要研究解决的具体问题，并提出你的论文准备的观点或解决方法。
写法范例：
本文主要提出一款精简64位RISC处理器存储管理单元结构并详细分析其设计过程。在该MMU结构中,TLB采用叁个分离的TLB,TLB采用基于内容查找的相联存储器并行查找,支持粗粒度为64KB和细粒度为4KB两种页面大小,采用多级分层页表结构映射地址空间,并详细论述了四级页表转换过程,TLB结构组织等。该MMU结构将作为该处理器存储系统实现的一个重要组成部分。
（2）本文研究方法
调查法：该方法是有目的、有系统的搜集有关研究对象的具体信息。
观察法：用自己的感官和辅助工具直接观察研究对象从而得到有关信息。
实验法：通过主支变革、控制研究对象来发现与确认事物间的因果关系。
文献研究法：通过调查文献来获得资料，从而全面的、正确的了解掌握研究方法。
实证研究法：依据现有的科学理论和实践的需要提出设计。
定性分析法：对研究对象进行“质”的方面的研究，这个方法需要计算的数据较少。
定量分析法：通过具体的数字，使人们对研究对象的认识进一步精确化。
跨学科研究法：运用多学科的理论、方法和成果从整体上对某一课题进行研究。
功能分析法：这是社会科学用来分析社会现象的一种方法，从某一功能出发研究多个方面的影响。
模拟法：通过创设一个与原型相似的模型来间接研究原型某种特性的一种形容方法。
三、Sagittal聚焦晶体柔性铰链压弯机构研究（论文提纲范文）
（1）一种消除弯晶面形扭曲的轴角装置（论文提纲范文）
| 1 轴角装置的设计特点 |
| 2 轴角装置的性能分析 |
| 3 测试结果 |
| 4 结论 |
（2）同步辐射椭圆柱面压弯镜机构的研究（论文提纲范文）
| 摘要 |
| Abstract |
| 第1章 绪论 |
| 1.1 同步辐射概述与上海光源 |
| 1.1.1 同步辐射的产生与发展 |
| 1.1.2 上海同步辐射光源 |
| 1.2 光束线技术 |
| 1.2.1 光束线简介 |
| 1.2.2 生物防护蛋白质晶体学线站简介 |
| 1.3 论文的研究内容和结构 |
| 1.3.1 主要研究内容 |
| 1.3.2 论文结构 |
| 1.4 本章小结 |
| 第2章 同步辐射压弯机构 |
| 2.1 压弯机构的概述与研究现状 |
| 2.1.1 压弯机构概述 |
| 2.1.2 压弯机构研究现状 |
| 2.2 压弯机构类型 |
| 2.3 机械压弯 |
| 2.3.1 三点结构 |
| 2.3.2 四点结构 |
| 2.3.3 双臂、单臂、无臂结构 |
| 2.3.4 柔性铰链 |
| 2.4 椭圆柱面压弯机构 |
| 2.5 本章小结 |
| 第3章 基于材料力学的压弯机构理论分析 |
| 3.1 面形误差 |
| 3.1.1 面形误差定义 |
| 3.1.2 面形误差来源 |
| 3.2 基于材料力学的压弯模型理论计算 |
| 3.2.1 椭圆柱面聚焦镜参数 |
| 3.2.2 椭圆柱面压弯理论和形状参数（水平聚焦） |
| 3.2.3 椭圆柱面压弯理论和形状参数（垂直聚焦） |
| 3.3 自重引起面形误差的理论分析 |
| 3.3.1 单独自重理论分析 |
| 3.3.2 自重的平衡 |
| 3.4 本章小结 |
| 第4章 压弯机构的有限元分析 |
| 4.1 有限元分析方法 |
| 4.1.1 有限元分析方法介绍 |
| 4.1.2 ANSYS workbench介绍 |
| 4.2 水平聚焦时压弯机构的有限元分析 |
| 4.2.1 数据处理方法 |
| 4.2.2 分析模型与分析步骤 |
| 4.2.3 水平聚焦分析结果 |
| 4.3 垂直聚焦有限元分析 |
| 4.4 单独重力对面形影响的有限元分析 |
| 4.5 垂直聚焦有限元分析（使用重力补偿） |
| 4.6 本章小结 |
| 第5章 长程面形仪测试镜面结果 |
| 5.1 长程面形仪介绍 |
| 5.1.1 长程面形仪概述 |
| 5.1.2 上海光源NOM原理 |
| 5.2 测试方法 |
| 5.3 测试过程与结果分析 |
| 5.3.1 分析方法 |
| 5.3.2 压弯椭圆柱面测试过程与结果 |
| 5.3.3 压弯椭圆面形稳定性和重复性测量 |
| 5.3.4 基于圆柱面分析的分辨率、重复性、稳定性测量 |
| 5.4 本章小结 |
| 第6章 总结与展望 |
| 6.1 论文总结 |
| 6.2 本文创新点与实用性 |
| 6.3 课题的后续发展与展望 |
| 参考文献 |
| 致谢 |
| 作者简历及攻读学位期间发表的学术论文与研究成果 |
（3）亚微米聚焦高稳定柔性铰链压弯机构的模拟分析（论文提纲范文）
| 摘要 |
| Abstract |
| 第一章 绪论 |
| 1.1 同步辐射光源的发展 |
| 1.2 上海光源 |
| 1.2.1 上海同步辐射光源概况 |
| 1.2.2 上海光源硬X射线微聚焦及应用光束线站 |
| 1.3 同步辐射微纳探针技术 |
| 1.3.1 纳米探针的应用前景 |
| 1.3.2 X射线微纳聚焦方法 |
| 1.3.3 压弯非球面反射聚焦镜 |
| 1.4 研究内容与方案 |
| 1.4.1 研究内容与相关进展 |
| 1.4.2 有限元分析软件的选择 |
| 1.4.3 Solidworks Simulation功能模块及几何非线性分析简介 |
| 第二章 非球面压弯镜系统的设计 |
| 2.1 压弯镜的设计 |
| 2.1.1 非球面镜几何精确压弯理论 |
| 2.1.2 镜体参数的设计 |
| 2.2 压弯机构的设计 |
| 2.3 本章小结 |
| 第三章 压弯系统的有限元分析及镜体宽度的优化 |
| 3.1 压弯系统的有限元分析过程 |
| 3.1.1 模型的建立与简化 |
| 3.1.2 约束与载荷的添加 |
| 3.1.3 网格的划分 |
| 3.2 压弯系统的有限元分析结果 |
| 3.3 镜体宽度的优化 |
| 3.4 本文中有限元分析方法的分析验证 |
| 3.5 本章小结 |
| 第四章 压弯系统的样机测试 |
| 4.1 压弯样机的离线测试 |
| 4.1.1 LTP-1200 型长程面形仪简介 |
| 4.1.2 样机的离线测试结果 |
| 4.2 压弯样机的在线测试 |
| 4.3 本章小结 |
| 第五章 总结与展望 |
| 参考文献 |
| 致谢 |
| 攻读学位期间发表的论文 |
（4）高能劳厄单色器晶体压弯机构的优化设计（论文提纲范文）
| 摘要 |
| ABSTRACT |
| 第一章 绪论 |
| 1.1 同步辐射光源 |
| 1.1.1 同步辐射光源介绍 |
| 1.1.2 上海同步辐射光源 |
| 1.2 光束线 |
| 1.2.1 光束线介绍 |
| 1.2.2 超硬线介绍 |
| 1.3 论文研究背景及意义 |
| 1.4 论文内容安排 |
| 第二章 高能劳厄单色器与压弯理论 |
| 2.1 常见的两类单色器 |
| 2.1.1 光栅单色器 |
| 2.1.2 晶体单色器 |
| 2.2 晶体衍射理论 |
| 2.2.1 劳厄衍射 |
| 2.2.2 布拉格衍射 |
| 2.3 高能劳厄单色器原理介绍 |
| 2.3.1 弧矢弯曲非对称劳厄晶体 |
| 2.3.2 单劳厄弧矢聚焦原理 |
| 2.3.3 双劳厄弧矢聚焦原理 |
| 2.4 高能劳厄单色器晶体与晶面的选择 |
| 2.5 高能劳厄单色器压弯半径的选择 |
| 2.6 高能劳厄单色器简介 |
| 2.7 各向异性晶体压弯理论 |
| 2.8 本章小结 |
| 第三章 高能劳厄单色器晶体压弯机构 |
| 3.1 常见的压弯方式 |
| 3.1.1 仿型压弯 |
| 3.1.2 压电压弯 |
| 3.1.3 机械压弯 |
| 3.2 高能劳厄单色器常见机械压弯方式 |
| 3.2.1 三角晶体悬臂压弯 |
| 3.2.2 四杆压弯 |
| 3.2.3 叶簧压弯 |
| 3.3 高能劳厄单色器晶体压弯机构分析 |
| 3.3.1 高能劳厄单色器压弯机构设计指标 |
| 3.3.2 压弯调节子机构 |
| 3.3.3 扭曲调节子机构 |
| 3.3.4 滚角调节子机构 |
| 3.4 本章小结 |
| 第四章 高能劳厄单色器压弯机构的有限元优化分析 |
| 4.1 有限元方法介绍 |
| 4.1.1 有限元方法的求解步骤 |
| 4.2 ANSYS Workbench软件介绍 |
| 4.3 压弯机构有限元优化分析模型的建立 |
| 4.3.1 几何模型 |
| 4.3.2 材料数据 |
| 4.3.3 接触设置 |
| 4.3.4 网格划分 |
| 4.3.5 边界条件 |
| 4.3.6 结果处理 |
| 4.4 影响硅晶体压弯性能的因素 |
| 4.4.1 单晶硅各向异性的影响 |
| 4.4.2 硅晶体长宽比的影响 |
| 4.5 有限元优化分析结果 |
| 4.5.1 压弯半径分析结果 |
| 4.5.2 面形分析结果 |
| 4.5.3 力学分析结果 |
| 4.6 压弯机构误差分析 |
| 4.6.1 叶簧片推压角度的影响分析 |
| 4.6.2 叶簧片长度的影响分析 |
| 4.6.3 叶簧片厚度的影响分析 |
| 4.6.4 叶簧片宽度的影响分析 |
| 4.6.5 误差综合影响分析 |
| 4.7 压弯机构热分析 |
| 4.7.1 两种不同加载方法的比较 |
| 4.7.2 叶簧片材料热分析比较 |
| 4.7.3 热变形对晶体面形的影响 |
| 4.7.4 位移载荷与热载荷综合影响分析 |
| 4.8 高能劳厄单色器压弯机构原型机 |
| 4.9 本章小结 |
| 第五章 总结与展望 |
| 5.1 论文总结 |
| 5.2 论文创新点 |
| 5.3 课题的后续展望 |
| 参考文献 |
| 攻读硕士期间发表的论文 |
| 致谢 |
（5）晶体单色器微调结构设计分析（论文提纲范文）
| 1 Bragg衍射角 |
| 2 晶体微调结构设计 |
| 2.1 切槽型晶体 |
| 2.2 切槽型晶体安装底座 |
| 2.3 晶体微调结构 |
| 3 晶体微调精度分析及测试 |
| 4 结论 |
（6）同步辐射光束线水平偏转压弯机构关键技术研究及性能测试（论文提纲范文）
| 摘要 |
| Abstract |
| 目录 |
| 第1章 绪论 |
| 1.1 同步辐射与光束线技术 |
| 1.2 压弯机构的概述与发展现状 |
| 1.3 水平偏转压弯机构的优势及应用前景 |
| 1.4 研究内容及论文结构 |
| 1.5 本章小结 |
| 第2章 水平偏转压弯机构的设计 |
| 2.1 压弯理论及镜面参数 |
| 2.2 常用压弯形式概述 |
| 2.3 水平偏转压弯机构的技术难点 |
| 2.4 水平偏转压弯机构的设计参数计算 |
| 2.5 水平偏转压弯机构的总体设计 |
| 2.6 本章小结 |
| 第3章 水平偏转压弯机构的补偿机制及压弯系统的非线性分析 |
| 3.1 水平偏转压弯镜面形误差分析 |
| 3.2 水平偏转压弯镜面形误差的有限元模拟计算 |
| 3.3 水平偏转压弯机构的补偿机制 |
| 3.4 水平偏转压弯机构的非线性分析 |
| 3.5 本章小结 |
| 第4章 水平偏转压弯机构光学元件热缓释技术研究 |
| 4.1 同步辐射光源热负载 |
| 4.2 高热负载光学元件热缓释技术 |
| 4.3 传热学理论 |
| 4.4 水平偏转压弯机构光学元件热缓释技术研究 |
| 4.5 本章小结 |
| 第5章 水平偏转压弯机构性能检测 |
| 5.1 安装检测设备 |
| 5.2 水平偏转压弯机构压弯性能测试 |
| 5.3 水平偏转压弯机构调节精度检测 |
| 5.4 水平偏转压弯机构的安装调试 |
| 5.5 本章小结 |
| 第6章 总结与展望 |
| 6.1 本论文研究的主要内容 |
| 6.2 本论文创新点 |
| 6.3 课题发展趋势 |
| 参考文献 |
| 在学期间学术成果情况 |
| 指导教师及个人简介 |
| 致谢 |
（7）压弯机构在同步辐射光束线中的应用（论文提纲范文）
| 1 引言 |
| 2 压弯机构的分类及特点 |
| 2.1 仿型弯曲 |
| 2.2 压电弯曲 |
| 2.3 机械压弯 |
| 2.3.1 三点结构 |
| 2.3.2 四点结构 |
| 2.3.2.1 U型压弯 |
| 2.3.2. 2 四点滚轴压弯 |
| 2.3.2. 3 四点压弯 |
| 2.3.2.4拉杆式驱动 |
| 2.3.2. 5 千斤顶式驱动 |
| 2.3.3 双臂结构 |
| 2.3.4 单臂结构和无臂结构 |
| 2.3.5 柔性铰链 |
| 3 压弯机构的应用及研究现状 |
| 4 结束语 |
（8）高热负载水冷弧矢聚焦双晶单色器研究（论文提纲范文）
| 摘要 |
| Abstract |
| 第一章 绪论 |
| 1.1 同步辐射 |
| 1.1.1 同步辐射发展状况 |
| 1.1.2 同步辐射光源的应用 |
| 1.2 同步辐射光束线 |
| 1.2.1 软X射线/真空紫外光束线 |
| 1.2.2 硬X射线光束线 |
| 1.3 光束线中的单色器 |
| 1.3.1 光栅单色器 |
| 1.3.2 晶体单色器 |
| 1.4 硬X射线光束线中的晶体单色器关键技术 |
| 1.4.1 晶体的热缓释与冷却技术研究 |
| 1.4.2 晶体弧矢压弯聚焦技术 |
| 1.4.3 固定光束出射口技术 |
| 1.4.4 精密机械微调机构 |
| 1.4.5 异形晶体加工和焊接技术 |
| 本章小结 |
| 参考文献 |
| 第二章 单色器晶体的高热负载与面形研究 |
| 2.1 晶体高热负载的研究 |
| 2.1.1 弯转磁铁光源热负载 |
| 2.1.2 高热负载对晶体的影响 |
| 2.1.3 晶体热变形与能量分辨 |
| 2.2 高热负载热缓释方式 |
| 2.2.1 晶体材料的选择 |
| 2.2.2 冷却介质的选择 |
| 2.2.3 晶体冷却结构 |
| 本章小结 |
| 参考文献 |
| 第三章 晶体单色器的关键技术研究 |
| 3.1 高精度异形晶体的焊接技术研究 |
| 3.1.1 晶体的扩散焊接 |
| 3.1.2 影响晶体扩散焊接质量的因素 |
| 3.2 单色器晶体压弯聚焦原理 |
| 3.3 晶体的压弯机构研究 |
| 3.3.1 晶体压弯结构研究 |
| 3.3.2 晶体压弯机构 |
| 3.4 晶体机械压弯模型的研究 |
| 3.4.1 基于柔性铰链的压弯模型研究 |
| 3.4.2 基于四点压弯原理的压弯模型 |
| 3.5 晶体的精密微调机构 |
| 3.5.1 第一晶体微调机构 |
| 3.5.2 第二晶体微调机构 |
| 3.6 固定光束出射口技术理论研究 |
| 3.6.1 刚性结构型 |
| 3.6.2 补偿运动型 |
| 3.6.3 出入射光束高差的误差分析 |
| 本章小结 |
| 参考文献 |
| 第四章 水冷弧矢聚焦双晶单色器的研制 |
| 4.1 设计参数和目标 |
| 4.1.1 工程背景及意义 |
| 4.1.2 主要性能指标 |
| 4.1.3 单色器的总体布局及系统组成 |
| 4.2 水冷却晶体 |
| 4.2.1 晶体冷却结构设计 |
| 4.2.2 晶体结构参数分析 |
| 4.2.3 晶体的扩散焊性能检测 |
| 4.3 弧矢压弯晶体装置 |
| 4.3.1 压弯装置系统设计 |
| 4.3.2 晶体压弯机构的分析 |
| 4.4 晶体微调机构 |
| 4.4.1 水冷晶体多维精密微调装置 |
| 4.4.2 二晶多维精密微调装置 |
| 4.5 单色器的性能检测 |
| 4.5.1 Bragg轴系精度检测 |
| 4.5.2 弧矢压弯半径的测量 |
| 4.5.3 能量分辨和摇摆曲线的在线测试 |
| 本章小结 |
| 参考文献 |
| 第五章 晶体单色器研制的总结与展望 |
| 5.1 研制总结 |
| 5.2 特点和创新性 |
| 5.3 发展与展望 |
| 攻读博士学位期间发表的文章 |
| 致谢 |
（9）NSRL-XAFS光束线改造中弧矢聚焦双晶单色器相关技术研究（论文提纲范文）
| 摘要 |
| Abstract |
| 目录 |
| 第一章 绪论 |
| 1.1 引言 |
| 1.2 同步辐射装置 |
| 1.2.1 同步辐射光源 |
| 1.2.2 同步辐射光束线 |
| 1.2.2.1 前端区 |
| 1.2.2.2 光束线结构与设计 |
| 1.3 合肥同步辐射装置及Wiggler光源 |
| 1.3.1 合肥同步辐射装置基本概述 |
| 1.3.2 Wiggler光源 |
| 1.4 课题的研究背景及意义 |
| 1.4.1 课题的研究背景 |
| 1.4.2 课题研究意义 |
| 1.5 论文内容安排 |
| 参考文献 |
| 第二章 晶体衍射原理与双晶分光结构 |
| 2.1 晶体衍射理论简述 |
| 2.1.1 晶体衍射的几何理论 |
| 2.1.2 晶体衍射的运动学和动力学理论 |
| 2.1.3 劳厄衍射与布拉格衍射 |
| 2.1.4 晶体对X射线衍射的基本性能参数 |
| 2.1.5 同步辐射常用晶体及其参数 |
| 2.2 同步辐射光学中常用的几种分光单元 |
| 2.2.1 双平晶型 |
| 2.2.2 切槽型(channel-cut) |
| 2.2.3 Laue-Bragg型 |
| 2.2.4 弧矢聚焦型 |
| 2.3 NSRL-XAFS光束线上弧矢聚焦双晶单色器的光学结构设计 |
| 2.3.1 单色器的光学结构 |
| 2.3.2 主要性能参数 |
| 2.3.2.1 能量分辨率 |
| 2.3.2.2 弧矢聚焦双晶单色器光子通量 |
| 2.3.2.3 样品上的束斑尺寸与光子密度 |
| 2.4 小结 |
| 参考文献 |
| 第三章 晶体弯曲和双晶能量扫描机构 |
| 3.1 晶体压弯机构 |
| 3.1.1 晶体弯曲原理 |
| 3.1.2 同步辐射常用的压弯方法 |
| 3.2 双晶能量扫描机构 |
| 3.2.1 转动机构 |
| 3.2.2 晶体平移运动 |
| 3.3 L型联动机构 |
| 3.3.1 L型联动机构基本原理 |
| 3.3.2 结构设计与制造 |
| 3.3.3 误差分析 |
| 3.4 本章小节 |
| 参考文献 |
| 第四章 第一晶体热缓释技术研究 |
| 4.1 同步辐射晶体单色器热缓释技术 |
| 4.1.1 晶体热应变原理分析及其对Bragg角的影响 |
| 4.1.2 同步辐射晶体单色器常用抑制热形变的方法 |
| 4.1.2.1 冷却剂冷却 |
| 4.1.2.2 弯曲补偿 |
| 4.2 NSRL-XAFS弧矢聚焦双晶单色器第一晶体热应变模拟分析 |
| 4.2.1 晶体表面热源的分析计算 |
| 4.2.2 晶体的热力学结构与ANSYS计算方法 |
| 4.3 第一晶体热平衡相应时间的在线测量 |
| 4.4 本章小结 |
| 参考文献 |
| 第五章 弧矢弯晶鞍型形变与抑制技术研究 |
| 5.1 鞍型形变产生原理 |
| 5.2 晶体鞍型形变抑制方法 |
| 5.2.1 底部加肋板薄晶体 |
| 5.2.2 长宽比符合黄金比例晶体 |
| 5.2.3 衍射面刻深槽厚晶体 |
| 5.3 肋板晶体和“黄金比例”晶体的有限元模拟与LTP测量比较 |
| 5.4 小结 |
| 参考文献 |
| 第六节 总结与展望 |
| 6.1 本课题主要创新点 |
| 6.2 本课题的后续工作 |
| 致谢 |
| 攻读博士期间发表的论文 |
（10）单色器中柔性铰链压弯微调机构的力学分析（论文提纲范文）
| 0 引言 |
| 1 单色器的基本工作原理 |
| 2 柔性铰链压弯微调机构 |
| 2.1 工作原理 |
| 2.2 运动理论分析 |
| 2.3 柔性铰链压弯微调机构力学分析 |
| 3 压弯微调机构机械设计 |
| 4 结论 |
四、Sagittal聚焦晶体柔性铰链压弯机构研究（论文参考文献）
- [1]一种消除弯晶面形扭曲的轴角装置[J]. 杨佼汪,刘旭,曹刚,蔡泉,盛伟繁. 强激光与粒子束, 2019(09)
- [2]同步辐射椭圆柱面压弯镜机构的研究[D]. 秦超. 中国科学院大学(中国科学院上海应用物理研究所), 2018(07)
- [3]亚微米聚焦高稳定柔性铰链压弯机构的模拟分析[D]. 潘要霖. 中国科学院研究生院(上海应用物理研究所), 2017(07)
- [4]高能劳厄单色器晶体压弯机构的优化设计[D]. 张海云. 中国科学院研究生院(上海应用物理研究所), 2017(07)
- [5]晶体单色器微调结构设计分析[J]. 周顺,冯勇,阳志强,江波. 西安工业大学学报, 2016(09)
- [6]同步辐射光束线水平偏转压弯机构关键技术研究及性能测试[D]. 高飒飒. 中国科学院研究生院(长春光学精密机械与物理研究所), 2014(09)
- [7]压弯机构在同步辐射光束线中的应用[J]. 卢启鹏,彭忠琦. 光机电信息, 2011(06)
- [8]高热负载水冷弧矢聚焦双晶单色器研究[D]. 邓小国. 中国科学院研究生院（西安光学精密机械研究所）, 2008(05)
- [9]NSRL-XAFS光束线改造中弧矢聚焦双晶单色器相关技术研究[D]. 凤良杰. 中国科学技术大学, 2008(06)
- [10]单色器中柔性铰链压弯微调机构的力学分析[J]. 赵鋆,李三庆. 宁波职业技术学院学报, 2007(05)